实用新型已授权

一种单晶炉副炉室用延长室

📄 申请号：CN202321029514.0 📄 发布日：2026/06/29

著录项目信息

申请日

2023-05-04

公开号

CN219839792U

公开日

2023-10-17

申请人

浙江奔博精密机械有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C30B27_02

IPC 分类号

C30B27_02 , C30B29_06 ,

技术画像

所属领域

单晶炉单晶炉晶体生长设备半导体制造设备

应用场景

单晶硅制造, 半导体材料生产, 光伏硅片制造, 晶体生长工艺, 半导体设备

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摘要

本实用新型提供一种单晶炉副炉室用延长室，包括依次连接的上筒体、中筒体和下筒体，所述的上筒体上、下端外边缘分别设有上连接法兰、下连接盘，下筒体上、下端外边缘分别设有上连接盘、下连接法兰，所述的上筒体、中筒体和下筒体内部设有的通腔分别与提升机构和副室内部相连通，所述的上筒体、中筒体和下筒体均为波纹管，所述的中筒体上、下端外边缘分别设有上盘、下盘。本实用新型的有益效果是：延长室分为上筒体、中筒体和下筒体，可仅仅更换损坏的筒体部分，减少成本投入；而且每个筒体为波纹管，可调整整体的拉伸长度，然后使用上螺母、下螺母将上连接盘、下盘、上盘、下连接盘、上连接法兰相对固定，操作方便。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：23 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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