实用新型已授权

一种单晶炉用旋片阀

📄 申请号：CN202320555648.X 📄 发布日：2026/06/29

著录项目信息

申请日

2023-03-21

公开号

CN219796135U

公开日

2023-10-03

申请人

浙江奔博精密机械有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16K1_226

IPC 分类号

F16K1_226 , F16K1_32 , F16K27_02 , F16K31_60 ,

技术画像

所属领域

单晶炉旋片阀真空阀门晶体生长设备单晶炉

应用场景

单晶硅制备, 半导体晶圆制造, 光伏电池生产, 真空系统, 晶体材料生长

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摘要

本实用新型涉及旋片阀的技术领域，尤其是一种单晶炉用旋片阀，其包括具有阀体，所述的阀体为两端相通的管状结构，所述的阀体中部设置隆起结构，所述的隆起结构内侧嵌入设置密封套，所述的隆起结构上安装旋片组件，所述的旋片组件包括拨片、连接轴和叶轮；所述的拨片中部通过连接轴穿设，所述的连接轴的端部均穿过阀体外壁后连接叶轮中部。该单晶炉用旋片阀，增加密封圈和密封座来提高整体旋片阀操作过程中的密封效果，无需另外安装侧漏机构；采用双侧调节结构进行调节使用，提高整体旋片阀的调节便利性和使用寿命，便于广泛推广和使用。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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