实用新型 已授权

一种磨刀机磨硅片用进给机座

📄 申请号:CN202120310810.2 📄 发布日:2026/02/05

著录项目信息

申请日
2021-02-03
公开号
CN214685778U
公开日
2021-11-12
申请人
青岛科瑞德机械制造有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

硅片磨削, 晶圆加工, 半导体制造, 精密磨削

摘要

本实用新型涉及进给技术领域,且公开了种磨刀机磨硅片用进给机座,包括底板,所述底板的中部开设有滑槽,且滑槽的内部滑动套接有移动块;所述底板上固定安装有驱动机构,所述驱动机构与移动块连接;所述移动块的顶部固定安装有无杆气缸,所述无杆气缸活动台的顶部固定安装有敞口盒;所述敞口盒的内部固定安装有旋转机构,所述旋转机构上设置有气动手指。本实用新型提出一种磨刀机磨硅片用进给机座,本实用新型通过设有驱动机构,驱动机构带动移动块在水平方向移动,以带动气动手指在水平方向移动,配合无杆气缸的启动,以对硅片在水平方向的位置进行灵活调节,启动旋转机构,利于对硅片的角度进行灵活调节,提高了自动化程度和调节准确度。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:102 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 已报项目

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