实用新型已授权

一种全自动旋转探针台

📄 申请号：CN202221743713.3 📄 发布日：2026/02/04

著录项目信息

申请日

2022-07-07

公开号

CN217787180U

公开日

2022-11-11

申请人

张家港意发功率半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G01R1_04

IPC 分类号

G01R1_04

技术画像

所属领域

半导体测试设备半导体测试设备晶圆探针台自动控制系统

应用场景

芯片测试, 晶圆检测, 集成电路测试, 半导体制造, 电子元件测试

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摘要

本实用新型公开了一种全自动旋转探针台，其包括：底座、载台、滑座、升降座、悬臂、探针和压环，所述底座上设置有环形轨道，所述滑座可滑动地设置在环形轨道上，所述载台设置在底座上并位于环形轨道的内侧，所述升降座可升降地设置在滑座上，所述升降座上横向设置有第一导向套，所述悬臂设置在第一导向套中并延伸至载台上方，所述第一导向套前端设置有指向下方载台的第二导向套，所述探针设置在第二导向套中，所述滑座一侧设置有电机，所述底座上设置有与环形轨道同心的环形齿条，所述电机的转轴上设置有与环形齿条啮合的齿轮。本实用新型所述的全自动旋转探针台，可以围绕载台上的被测物进行旋转，改变探针的位置，提升了测试效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种检测用静电放电发生装置

当前第 / 件

一种贴片型GaN功率器件测试用转接板

同领域国内专利 · IPC: (G01R1_04)

G01R1_02 G01R1_04 G01R1_06 G01R1_067 G01R1_073 G01R1_18 G01R1_20 G01R1_22 G01R1_28 G01R1_30 G01R11_00 G01R11_02 G01R11_04 G01R11_24 G01R13_00 G01R13_02 G01R15_00 G01R15_04 G01R15_06 G01R15_12 G01R15_18 G01R15_20 G01R15_24 G01R19_00 G01R19_04 G01R19_12 G01R19_145 G01R19_155 G01R19_165 G01R19_17 G01R19_175 G01R19_25 G01R19_30 覆盖33个领域

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