发明专利 已授权

小型方硅芯高精度切割工艺

📄 申请号:CN201710961168.2 📄 发布日:2026/05/18

著录项目信息

申请日
2017-11-03
公开号
CN107538631B
公开日
2019-11-19
申请人
江阴东升新能源股份有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

光伏硅芯制造, 多晶硅生产, 半导体硅材料加工

摘要

本发明涉及一种小型方硅芯高精度切割工艺,包括以下工艺步骤:步骤一、取一圆柱状的硅棒;步骤二、在硅棒单晶硅段的端面上通过胶水粘上四条导向树脂条,四条导向树脂条首尾相接形成一个正方形;步骤三、在硅棒多晶硅段的端面上通过胶水粘上晶座;步骤四、将硅棒通过晶座悬挂至多线切割机上;步骤五、调整硅棒的角度位置,使硅棒单晶硅端面上的导向树脂条与切割其的金刚石网相互垂直;步骤六、多线切割机的方形线网继续向上运动,从而完成整根硅棒的切割。本发明一种小型方硅芯高精度切割工艺,能够对硅棒切割垂直度进行调整定位,从而防止切割时金刚石线与硅棒产生偏离,有效保证了最终的产品质量和成材率。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (B28D5_04)

B28D5_00 B28D5_02 B28D5_04 覆盖3个领域
议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:69 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 已报项目

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