摘要
本发明涉及一种小型方硅芯高精度切割工艺,包括以下工艺步骤:步骤一、取一圆柱状的硅棒;步骤二、在硅棒单晶硅段的端面上通过胶水粘上四条导向树脂条,四条导向树脂条首尾相接形成一个正方形;步骤三、在硅棒多晶硅段的端面上通过胶水粘上晶座;步骤四、将硅棒通过晶座悬挂至多线切割机上;步骤五、调整硅棒的角度位置,使硅棒单晶硅端面上的导向树脂条与切割其的金刚石网相互垂直;步骤六、多线切割机的方形线网继续向上运动,从而完成整根硅棒的切割。本发明一种小型方硅芯高精度切割工艺,能够对硅棒切割垂直度进行调整定位,从而防止切割时金刚石线与硅棒产生偏离,有效保证了最终的产品质量和成材率。