实用新型 已授权

一种硅片整形装置

📄 申请号:CN202520309354.8 📄 发布日:2026/01/12

著录项目信息

申请日
2025-02-25
公开号
CN223776731U
公开日
2026-01-09
申请人
安徽博凯工程技术有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体晶圆制造, 集成电路制造, 光伏硅片加工, 晶圆边缘修整

摘要

本实用新型涉及硅片加工技术领域,提供了一种硅片整形装置,包括装置本体,所述装置本体的内部固定嵌设有过滤板,所述过滤板的顶部中心处固定安装有放置台,所述装置本体的底部固定安装有进水管道,所述进水管道的底部固定安装有存储箱,所述存储箱的顶部固定在所述装置本体的底部,所述存储箱的右侧固定嵌设有换水管道,所述存储箱的前侧固定安装有泵机,本实用新型,在使用时,通过泵机与螺杆结构的设置,不仅能够确保硅片在放置台上被精确定位,提高了打磨过程中的稳定性,同时通过过滤板、进水管道和存储箱的组合,实现了冲洗水的循环使用,冲洗后的水经过过滤后重新回到存储箱中,减少了水资源的浪费。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN223776731U

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20260109
✅ 授权

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议价
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