发明专利已授权

一种防腐蚀单腔腐蚀清洗机

📄 申请号：CN201710872813.3 📄 发布日：2026/05/25

著录项目信息

申请日

2017-09-25

公开号

CN107671033B

公开日

2020-05-08

申请人

华林科纳(江苏)半导体设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B08B1_04

IPC 分类号

B08B1_04 , B08B1_00 , B08B3_02 , B08B9_087 , B08B9_093 , F26B21_00 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备湿法清洗防腐蚀结构

应用场景

半导体晶圆清洗, 集成电路制造, 湿法刻蚀工艺, MEMS器件制造, LED芯片制造

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明公开了一种防腐蚀单腔腐蚀清洗机，包括安装座，所述安装座的顶部安装有清洗机本体，且安装座的顶部开设有转动槽，所述转动槽内转动安装有第一转轴，且第一转轴的顶部与清洗机本体的底部固定安装，所述安装座的顶部开设有第一安装槽，且第一安装槽内安装有第一推杆电机，所述第一推杆电机的输出轴与清洗机本体固定安装，清洗机本体的一侧内壁上开设有出液孔，出液孔内卡装有出液孔塞。本发明实用性高，通过滑动板和第三转轴，方便清洗机本体的清洗和干燥，防止清洗机本体的腐蚀，并且通过第二转轴和清洗杆，方便清洗清洗机本体的同时对清洗机盖进行清洗和干燥，防止清洗机盖的腐蚀，有效的保护了清洗机本体和清洗机盖。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种承载量大且易码放晶棒升降车（仅证书扫描件）

当前第 / 件

基于励磁状态分析的虚拟同步发电机低电压穿越控制方法

同领域国内专利 · IPC: (B08B1_04)

B08B1_00 B08B1_02 B08B1_04 B08B1_10 B08B1_12 B08B1_14 B08B1_16 B08B1_20 B08B1_30 B08B1_32 B08B1_34 B08B1_36 B08B1_40 B08B1_50 B08B11_00 B08B11_02 B08B11_04 B08B13_00 B08B15_00 B08B15_02 B08B15_04 B08B17_00 B08B17_02 B08B17_04 覆盖24个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

¥7000.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：59 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 天津勤熠信息科技有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 27件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)