实用新型已授权

一种用于检测硅片位置的检测装置

📄 申请号：CN202323548440.4 📄 发布日：2026/01/07

著录项目信息

申请日

2023-12-26

公开号

CN222048890U

公开日

2024-11-22

申请人

苏州世点领自动化科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G01B11_00

IPC 分类号

G01B11_00 , H04N23_50 , H04N23_695 , G08C17_02 , B08B5_00 ,

技术画像

所属领域

检测装置半导体检测机器视觉位置测量检测装置

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 集成电路制造, 硅片生产, 自动化检测

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摘要

本实用新型公开的属于检测技术领域，具体为一种用于检测硅片位置的检测装置，包括用于对硅片的位置进行拍摄的摄像头，还包括：用于带动摄像头进行多方位移动的移动组件，且移动组件上安装摄像头，用于对硅片上的杂质进行清理的清理组件，且清理组件设在移动组件上，所述移动组件包括：固定板，所述箱体固定安装在固定板的顶部上，所述伺服电机固定安装在箱体的内壁上，本实用新型通过设置清理组件，具有能够实现对硅片上的杂质进行清理的作用，通过对硅片上的杂质进行清理，不仅能够增加检测装置的功能，提高实用性，还能够实现在对硅片位置检测的同时，还能够对硅片进行清理，在一定程度上提高了对硅片的加工效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种手摇升降推车

当前第 / 件

一种闸瓦间隙手动调整机构

同领域国内专利 · IPC: (G01B11_00)

G01B11_00 G01B11_02 G01B11_03 G01B11_04 G01B11_06 G01B11_08 G01B11_12 G01B11_14 G01B11_16 G01B11_22 G01B11_24 G01B11_245 G01B11_25 G01B11_255 G01B11_26 G01B11_27 G01B11_275 G01B11_28 G01B11_30 覆盖19个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：106 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

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