实用新型已授权

硅片自动测试设备

📄 申请号：CN202222156035.7 📄 发布日：2026/05/08

著录项目信息

申请日

2022-08-17

公开号

CN218003503U

公开日

2022-12-09

申请人

苏州世点领自动化科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G01R1_04

IPC 分类号

G01R1_04 , G01R1_02 , G01R27_02 ,

技术画像

所属领域

半导体测试设备半导体测试设备晶圆测试技术自动测试系统

应用场景

晶圆制造, 集成电路测试, 芯片质量检测, 半导体产线自动化

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摘要

本实用新型涉及硅片测试技术领域，具体涉及硅片自动测试设备，其技术方案是：包括电阻率测试仪主机和阻率测试仪主机电性连接的四探针探头，还包括控制组件、放置板、固定安装在放置板上的护栏组件以及设置在护栏组件上的升降机构，所述升降机构包括设置在护栏组件上的传动组件以及与传动组件螺纹连接的安装组件，所述四探针探头固定安装在安装上，本实用新型的有益效果是：可实现工作人员将硅片放置在放置板上自动对硅片进行电阻率测试，可对不同厚度的硅片均可进行测试，自动化程度高，极大的减少人工工作量，且安全防护性高，可避免四探针探头压到工作人员手。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种运动裤高效的熨烫装置

当前第 / 件

一种用于自动化监测传感器的转台

同领域国内专利 · IPC: (G01R1_04)

G01R1_02 G01R1_04 G01R1_06 G01R1_067 G01R1_073 G01R1_18 G01R1_20 G01R1_22 G01R1_28 G01R1_30 G01R11_00 G01R11_02 G01R11_04 G01R11_24 G01R13_00 G01R13_02 G01R15_00 G01R15_04 G01R15_06 G01R15_12 G01R15_18 G01R15_20 G01R15_24 G01R19_00 G01R19_04 G01R19_12 G01R19_145 G01R19_155 G01R19_165 G01R19_17 G01R19_175 G01R19_25 G01R19_30 覆盖33个领域

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