实用新型已授权

一种硅片烘干的翻转夹紧机构

📄 申请号：CN202222838229.5 📄 发布日：2026/04/29

著录项目信息

申请日

2022-10-26

公开号

CN218723035U

公开日

2023-03-24

申请人

安徽晶天新能源科技有限责任公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F26B25_18

IPC 分类号

F26B25_18 , F26B25_02 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备自动化夹紧机构硅片处理

应用场景

硅片烘干, 半导体晶圆制造, 集成电路制造, 硅片清洗后处理

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摘要

本实用新型公开了一种硅片烘干的翻转夹紧机构，涉及夹紧机构技术领域，该夹紧机构旨在解决现有技术下夹紧机构无法起到控制翻转夹持的作用，也不能对硅片起到调节防滑稳固夹持的技术问题，该夹紧机构包括夹紧稳定底板、安装在夹紧稳定底板上的调整升降组件、连接于调整升降组件的控制翻转组件；控制翻转组件外侧设置有前后调节夹紧组件，前后调节夹紧组件外侧设置有侧面防滑夹持组件，控制翻转组件内部设置有横向的翻转驱动电机，前后调节夹紧组件内部设置有调节控制横板，该夹紧机构通过控制翻转组件可以对硅片起到控制翻转夹持作用，而通过前后调节夹紧组件和侧面防滑夹持组件可以对硅片起到调节防滑稳固夹持效果。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种SMC四通连接管件

当前第 / 件

一种用于公共汽车用铝合金全景风道

同领域国内专利 · IPC: (F26B25_18)

F26B25_00 F26B25_02 F26B25_04 F26B25_06 F26B25_08 F26B25_10 F26B25_12 F26B25_16 F26B25_18 F26B25_20 F26B25_22 覆盖11个领域

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