实用新型已授权

一种硅片表面清洗烘干装置

📄 申请号：CN202222624175.2 📄 发布日：2026/04/29

著录项目信息

申请日

2022-09-29

公开号

CN218517314U

公开日

2023-02-24

申请人

安徽晶天新能源科技有限责任公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B3_04

IPC 分类号

B08B3_04 , B08B3_14 , B08B13_00 , F26B11_14 , F26B21_00 , F26B25_04 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备晶圆清洗技术表面清洗干燥

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 芯片制造, 光伏硅片生产

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摘要

本实用新型公开了一种硅片表面清洗烘干装置，涉及硅片加工技术领域，该装置旨在解决现有技术下无法将硅片分散开来，硅片在清洗过程中容易堆积在一起，导致堆积在内部的硅片无法清理到位的技术问题。该装置包括储水罐、设置于储水罐上侧的清洗罐、设置于清洗罐上侧的顶盖、设置于顶盖上侧的烘干组件、设置于清洗罐内侧的清洗组件；其中，储水罐和清洗罐左侧设有连接水管，连接水管末端设有水泵，储水罐前侧设有进水口，储水罐右侧设有出水口，出水口上侧设有排污口，储水罐内侧设有过滤网。该装置通过清洗组件的设置，可以在清洗过程中对硅片进行搅拌，将硅片分散开来，从而避免硅片堆积在一起而存在一定的卫生死角。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种全自动插片装置

当前第 / 件

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