实用新型已授权

一种湿法清洗设备接头

📄 申请号：CN202322413167.8 📄 发布日：2025/12/26

著录项目信息

申请日

2023-09-06

公开号

CN220647084U

公开日

2024-03-22

申请人

江苏迈睿科半导体科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16L17_02

IPC 分类号

F16L17_02 , B08B3_08 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备湿法清洗设备接头部件

应用场景

半导体晶圆清洗, 集成电路制造, 湿法刻蚀工艺, 清洗设备维护

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摘要

本实用新型涉及接头技术领域，尤其为一种湿法清洗设备接头，包括接头主体、连接环和转换管，接头主体外侧固定连接有连接环，连接环另一端固定连接有转换管，转换管内侧固定连接有伸缩弹簧，伸缩弹簧另一端固定连接有滑筒，转换管内侧固定连接有固定杆，固定杆另一端固定连接有固定滑环，固定滑环内侧滑动连接有滑杆，滑杆靠近接头主体的一端固定连接有限位板，滑杆外侧固定连接有固定板，固定板内侧滑动连接有滚珠，滚珠外侧与扇叶轮紧贴，本实用新型中，通过设置的滑杆、扇叶轮、滚珠、固定板、加压环、橡胶圈和弹力环，对转换管与湿法清洗设备的管道内部连接缝隙处起到良好的密封作用，增强湿法清洗设备的正常使用效果。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

空心管夹持机构及打磨装置

当前第 / 件

一种干进干出式全自动槽式酸碱清洗机

同领域国内专利 · IPC: (F16L17_02)

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