发明专利已授权

高灵敏度微纳巨压阻雨量传感器及其制备方法、测量结构

📄 申请号：CN201610408475.3 📄 发布日：2025/12/23

著录项目信息

申请日

2016-06-12

公开号

CN106125163A

公开日

2016-11-16

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01W1_14

IPC 分类号

G01W1_14

技术画像

所属领域

微纳传感器微纳传感器压阻式传感器传感测量技术

应用场景

气象监测, 环境监测, 智能雨量测量, 水文监测, 物联网传感

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摘要

本发明公开一种高灵敏度微纳巨压阻雨量传感器及其制备方法、测量结构，传感器包括传感器阵列，传感器阵列单元包括多个硅铝异质结的传感单元、供电电极对、信号检测引出电极对、参考引出电极对；各传感单元包括两个硅铝异质结的压力敏感结构、硅底层、绝缘二氧化硅层和硅顶层；两个结构与特性一致硅铝异质结平行设置在传感器两端，硅铝异质结侧部设置激励电极和检测电极。本发明在应用时，通过雨量压力引起传感器芯片形成机械应力使改变硅铝异质结的接触势垒大小，来实现巨压阻效应；作为参考部分的铝异质结伏安特性改变不是由受力引起，可作为差分的参考电路排除温度的影响。本发明测量灵敏度高，准确，适用于高精度的雨量测量场合。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

浊度传感器及浊度测量装置

当前第 / 件

一种路面加速加载磨耗装置

同领域国内专利 · IPC: (G01W1_14)

G01W1_00 G01W1_02 G01W1_04 G01W1_06 G01W1_08 G01W1_10 G01W1_11 G01W1_14 G01W1_18 覆盖9个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：153 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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