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基于巨压电效应的氧化锌纳米阵列应变传感器及其测量电路、标定系统和制备方法

Name: 基于巨压电效应的氧化锌纳米阵列应变传感器及其测量电路、标定系统和制备方法
Brand: 南京信息工程大学
SKU: 2016102838347
Availability: InStock

📄 申请号：CN201610283834.7 📄 发布日：2025/12/23

著录项目信息

申请日

2016-04-29

公开号

CN105762272A

公开日

2016-07-13

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L41_083

IPC 分类号

H01L41_083 , H01L41_22 , G01L1_16 , B82Y15_00 ,

技术画像

所属领域

测量电路压电传感器应变传感器氧化锌纳米材料测量电路

应用场景

结构健康监测, 工业自动化, 智能制造, 机器人传感, 可穿戴设备

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摘要

本发明公开了一种基于巨压电效应的氧化锌纳米阵列应变传感器、测量电路、标定系统及制备方法，包括受力底座和压电式传感单元，压电式传感单元包括两个水平方向平行且间隔设置的传感器芯片；传感器芯片包括依次层叠设置的基底层、粘合层、氧化锌种子层、PR窗口层、PDMS保护层、金属电极层；氧化锌种子层设有一个下电极；PR窗口层设有深槽，深槽中垂直生长着氧化锌纳米阵列，氧化锌纳米阵列与金属电极层之间接触形成应变敏感的肖特基势垒；金属电极层设有两个电极。本发明采用了垂直结构的氧化锌纳米阵列，利用氧化锌纳米阵列与金电极形成的肖特基异质结的巨压电效应极大地提升了传感器的灵敏度，实现了更高灵敏度与精确度的应变检测。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN105762272A

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：138 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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