发明专利已授权

一种巨压阻双谐振质量传感器及其制作方法

📄 申请号：CN201610213732.8 📄 发布日：2025/12/23

著录项目信息

申请日

2016-04-07

公开号

CN105758501B

公开日

2018-09-14

申请人

南京知行慧芯科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01G3_13

IPC 分类号

G01G3_13 , B81B7_00 , B82Y40_00 ,

技术画像

所属领域

微机电系统微机电系统谐振传感器压阻传感器

应用场景

微量物质检测, 环境监测, 生物传感, 医疗诊断, 工业过程控制

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明公开了一种巨压阻双谐振质量传感器及其制备方法，包括传感器芯片和外部电路，其特征是，所述传感器芯片包括两个通过细纳米杆相连的谐振式传感器芯片和温度补偿装置芯片，所述谐振式传感器芯片包括谐振式传感器的敏感结构、硅底层、绝缘二氧化硅层、硅顶层、铝顶层、激励电极、激励电极引出端电极和检测电极，所述硅底层、绝缘二氧化硅层、硅顶层从下至上依次设置，所述的铝顶层与硅顶层处于同一层。本发明中的单晶硅纳米谐振薄膜表面通过修饰工艺处理过，带有残余应力，比传统硅压阻式谐振膜的应变系数高约2‑3个数量级。此外，为消除温度对压阻阻值变化的影响，在本发明中引入了温度补偿装置，大大地提高了测量的分辨率与灵敏度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种磁通可控的轴向磁场混合永磁记忆电机

当前第 / 件

一种基于4G信号的无源雷达大气水汽反演法

同领域国内专利 · IPC: (G01G3_13)

G01G3_00 G01G3_12 G01G3_13 G01G3_14 G01G3_16 覆盖5个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：127 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)