发明专利已授权

一种基于不规则表面波导管的大气压表面波等离子体系统

📄 申请号：CN202311078735.1 📄 发布日：2025/12/16

著录项目信息

申请日

2023-08-25

公开号

CN117545163A

公开日

2024-02-09

申请人

深圳市弘专知识产权管理服务有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H05H1_46

IPC 分类号

H05H1_46

技术画像

所属领域

表面波等离子体表面波等离子体等离子体发生器微波波导

应用场景

材料表面处理, 半导体制造, 薄膜沉积, 消毒杀菌, 废气处理

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摘要

本发明提供一种基于不规则表面波导管的大气压表面波等离子体系统，其主要由微波发生与传输系统、微波功率测量系统、表面波发生器、不规则表面波导管和供气系统组成。微波发生与传输系统由微波功率源、环形器、双向定向耦合器、三销钉调配器依次相连。不规则表面波导管包括锥直形管、分叉形管以及两种形状的组合。本发明可以产生气体温度可控的大气压脉冲调制表面波等离子体，采用锥直形管配置射流形貌，采用分叉形管得到多束等离子体射流。这不仅满足不同加工精度的需求，而且能够大大降低微波能耗，提高能量利用效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250923

?? 专利权的转移：

20240820

✅ 授权

20240301

?? 实质审查的生效：

20240209

📄 公开

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