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发明专利
已授权
一种高灵敏度的OTFT pH传感器的制作及pH检测
📄 申请号:CN201310282472.6
📄 发布日:2025/12/10
著录项目信息
申请日
2013-07-08
公开号
CN104280443B
公开日
2017-12-19
申请人
电子科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01N27_414
IPC 分类号
G01N27_414
技术画像
所属领域
pH传感器
有机薄膜晶体管
酸碱度传感器
传感器制备工艺
pH检测
pH传感器
应用场景
环境监测, 水质分析, 生物医药, 食品安全, 临床诊断
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摘要
本发明的目的在于提供一种高灵敏度的OTFT pH传感器的制作方法及用这种OTFT器件所做的pH验证。它首先是采用常用的半导体器件的制作工艺,制备出栅极带有开槽的TFT器件,并对这种器件按现有的封装工艺进行封装。通过在栅极开槽的区域采用电化学沉积电子聚合物膜,制成OTFT pH传感器。对制备的器件采用半导体特性测试仪对其在溶液中的pH敏感特性进行测试,发现在溶液的pH为2到7的范围内,OTFT器件的阈值电压与pH之间有着良好的线性关系,其直线的斜率为0.955V/pH。比普通的ISFET器件对H+的灵敏度高出15倍。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20171219
✅ 授权
20150211
?? 实质审查的生效 :
20150114
📄 公开
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