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发明专利
已授权
高灵敏度微型光离子化传感器
📄 申请号:CN201810452302.0
📄 发布日:2026/04/16
著录项目信息
申请日
2018-05-12
公开号
CN108614029B
公开日
2024-05-28
申请人
重庆邮电大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01N27_66
IPC 分类号
G01N27_66
技术画像
所属领域
三氮唑衍生物
光离子化检测
气体传感器
微机电系统
应用场景
环境监测, 挥发性有机物检测, 工业安全, 室内空气质量监测, 应急检测
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摘要
本发明公开了一种高灵敏度微型光离子化传感器,包括电离室主体和内嵌筒以及电极板,所述的电离室主体为形成有电离腔的块状结构,电离腔的顶部设置有形成进气口的外套盖,侧部形成有排气口,底部形成有入光孔,所述的内嵌筒可匹配地嵌设在所述的电离腔内并与所述的排气口处对应地设置有过孔,所述的电极板被定位在所述的内嵌筒的内腔中。波浪型电极板的设计增加了带电粒子与极板的接触面积,将整个电离部分内置在一个密封的腔内保证了电离室的密封,能够提高电离效率,减小电离产生的本底电流,进而提高光离子化传感器的灵敏度、重复性以及响应时间等性能。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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当前第 / 件
基于五轴双转台在线非线性误差补偿方法
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