发明专利已授权

原位烘干浸渍法基片薄膜成型装置及其成型方法

Name: 原位烘干浸渍法基片薄膜成型装置及其成型方法
Brand: 潍坊学院
SKU: 2022106238696
Availability: InStock

📄 申请号：CN202210623869.6 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2022-06-02

公开号

CN114985195A

公开日

2022-09-02

申请人

潍坊学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B05C3_10

IPC 分类号

B05C3_10 , B05C9_12 , B05C9_14 , B05C13_02 , B05C15_00 , B05D1_18 , B05D3_02 , B05D3_04 ,

技术画像

所属领域

薄膜成型薄膜成型浸渍涂布原位干燥

应用场景

功能薄膜制备, 基片表面涂覆, 电子基片制造, 陶瓷薄膜制备, 膜分离材料制备

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摘要

本发明公开了一种原位烘干浸渍法基片薄膜成型装置及其成型方法；该装置包括薄膜成型箱，薄膜成型箱内依次形成有基片室、镀膜室和烘干室，还包括基片放置装置、基片镀膜装置、基片烘干装置、基片输送装置以及薄膜成型操控台；基片放置装置设置在所述基片室内用于放置基片；基片镀膜装置设置在所述镀膜室内用于对基片进行镀膜处理；基片烘干装置设置在所述烘干室内用于对基片进行烘干处理；基片输送装置用于携带基片在所述基片室、所述镀膜室、所述烘干室之间水平往复输送；本发明采用湿法制备基片薄膜时的原位烘干，在薄膜成型操控台控制下，实现了设备内无杂质作业，最大程度地减少人为干预带来的不良影响，可有效提高膜层间的吸附力和均匀性。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于污水治理的工业污水多级处理设备

当前第 / 件

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