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本发明公开了一种原位烘干浸渍法基片薄膜成型装置及其成型方法；该装置包括薄膜成型箱，薄膜成型箱内依次形成有基片室、镀膜室和烘干室，还包括基片放置装置、基片镀膜装置、基片烘干装置、基片输送装置以及薄膜成型操控台；基片放置装置设置在所述基片室内用于放置基片；基片镀膜装置设置在所述镀膜室内用于对基片进行镀膜处理；基片烘干装置设置在所述烘干室内用于对基片进行烘干处理；基片输送装置用于携带基片在所述基片室、所述镀膜室、所述烘干室之间水平往复输送；本发明采用湿法制备基片薄膜时的原位烘干，在薄膜成型操控台控制下，实现了设备内无杂质作业，最大程度地减少人为干预带来的不良影响，可有效提高膜层间的吸附力和均匀性。