实用新型已授权

一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件hlj

📄 申请号：CN202122670205.9 📄 发布日：2026/08/05

著录项目信息

申请日

2021-11-03

公开号

CN216051800U

公开日

2022-03-15

申请人

沈阳泽康检测服务有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G01Q10_00

IPC 分类号

G01Q10_00

技术画像

所属领域

三轴运动控制三轴运动控制精密驱动技术扫描电镜技术

应用场景

材料显微分析, 半导体检测, 表面形貌表征, 科研仪器

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摘要

本实用新型公开了一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件，包括底座，所述底座的上方滑动连接有滑动台，所述滑动台在底座上方沿前后方向滑动，所述滑动台上方固定有两组固定柱，两组所述固定柱之间连接有丝杆，所述丝杆的外部套设有螺纹套块，所述螺纹套块的底部固定有固定板，所述固定板上固定有气缸，所述气缸的输出端连接伸缩杆，所述伸缩杆的另一端连接有用于安装扫描电镜的安装板，本实用新型能够对扫描电镜提供三轴控制驱动，进而可以方便在对不同的样品检测时都能满足其位置调整需求。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220315

✅ 授权

一种检验实验室用试管放置架体hlj

当前第 / 件

一种防样成分分布破坏的实验设备hlj

同领域国内专利 · IPC: (G01Q10_00)

G01Q10_00 覆盖1个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：10 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

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