实用新型已授权

一种半导体蚀刻后清洗装置

Name: 一种半导体蚀刻后清洗装置
Brand: 深圳市盛鸿运科技有限公司
SKU: 2021223887960
Availability: InStock

📄 申请号：CN202122388796.0 📄 发布日：2025/12/04

著录项目信息

申请日

2021-09-30

公开号

CN215613499U

公开日

2022-01-25

申请人

深圳市盛鸿运科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B1_04

IPC 分类号

B08B1_04 , B08B3_02 , B08B13_00 , H01L21_67 ,

技术画像

所属领域

半导体清洗半导体清洗蚀刻后清洗晶圆清洗设备

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 集成电路生产

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摘要

本实用新型公开了一种半导体蚀刻后清洗装置，涉及蚀刻加工技术领域。本实用新型包括清洗箱、螺接块和安装板，螺接块的数量为两个，两螺接块分别安装在清洗箱上表面两端，两螺接块一表面均安装有第一螺杆，安装板的数量为两个，两安装板分别安装在两第一螺杆一端，安装板一表面设置有两第一滑槽，两第一滑槽内部均安装有第一滑块，两第一滑块一表面安装有夹板，夹板下表面安装有若干弹簧，弹簧一端安装有缓冲板，夹板上表面两端均安装有紧固螺栓。本实用新型通过紧固螺栓和夹板结构，方便夹持固定蚀刻加工件，同时通过第一滑槽和第一滑块结构，方便调整夹板的位置，以便于夹持不同厚度的蚀刻加工件，并且通过第一螺杆结构，方便夹持不同长度的蚀刻加工。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN215613499U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种可调节装置及运动器械和台架（机电控制、医疗设备、运动器械、工业台架、展览架、会展架）

当前第 / 件

一种便于收卷的微丝钢纤维镀铜设备

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