发明专利已授权

适用于朗缪尔探针的非线性微电流采集装置及方法

📄 申请号：CN202110098260.7 📄 发布日：2026/08/05

著录项目信息

申请日

2021-01-25

公开号

CN112858769A

公开日

2021-05-28

申请人

山东大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01R19_25

IPC 分类号

G01R19_25 , H05H1_00 ,

技术画像

所属领域

微电流检测微电流检测模拟信号处理等离子体诊断技术

应用场景

等离子体参数测量, 半导体工艺监测, 空间环境探测, 真空镀膜工艺, 材料表面处理

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摘要

本发明公开了适用于朗缪尔探针的非线性微电流采集装置及方法，包括：若干个并列的朗缪尔探针；每个朗缪尔探针的第一端布设在电离层的等离子体中；每个朗缪尔探针的第二端均与非线性采集放大电路连接；非线性采集放大电路还与扫描电压加载电路的输出端连接；扫描电压加载电路的输入端还与微控制单元连接；非线性采集放大电路还与低通滤波电路的输入端连接；低通滤波电路的输出端与微控制单元MCU连接；微控制单元MCU与卫星中心机通讯接口连接。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种可降解壳聚糖基复合止血薄膜

当前第 / 件

一种规模化快速植树装置及植树方法

同领域国内专利 · IPC: (G01R19_25)

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：14 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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