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实用新型
已授权
一种移动式半导体涂胶喷涂机
📄 申请号:CN202223458422.2
📄 发布日:2025/12/02
著录项目信息
申请日
2022-12-23
公开号
CN220238928U
公开日
2023-12-26
申请人
江苏利泰智能科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
B05B9_04
IPC 分类号
B05B9_04
,
B05B15_40
,
B05B14_00
,
B05B15_00
,
B05B12_08
,
技术画像
所属领域
半导体制造设备
半导体制造设备
涂胶工艺
光刻胶涂覆
应用场景
半导体制造, 晶圆加工, 芯片生产, 光刻工艺, 封装基板涂覆
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摘要
本实用新型公开了一种移动式半导体涂胶喷涂机装置,具体涉及喷涂机技术领域,包括喷涂箱,所述喷涂箱顶部设有进料口,所述进料口一端贯穿喷涂箱内壁至喷涂箱,所述进料口顶部设有防尘盖,所述防尘盖与进料口之间合页连接,所述喷涂箱内底部一侧设有储存箱,所述储存箱上设有连通管,所述储存箱一侧设有直管,所述直管与储存箱之间固定连通,所述直管一侧设置有输出泵。本实用新型通过电机控制旋转板,喷涂管内残留的涂料回流到回流管内,从而达到回收涂料用途,预防涂料回流到干燥机内对机器造成损伤,通过在气缸与空气干燥机上连接管,从而达到给机器散热目的,从而减少能耗与节约能源。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种高精度的温控仪表
当前第 / 件
一种具有耐潮湿的干式变压器
同领域国内专利 · IPC: (B05B9_04)
B05B9_00
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B05B9_08
覆盖
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