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专利详情
实用新型
已授权
一种半导体器件加工平台
📄 申请号:CN202520252954.5
📄 发布日:2025/12/02
著录项目信息
申请日
2025-02-18
公开号
CN223807532U
公开日
2026-01-16
申请人
重庆诗时联科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
F26B11_18
IPC 分类号
F26B11_18
,
F26B25_00
,
F26B25_02
,
F26B25_18
,
技术画像
所属领域
半导体加工设备
半导体加工设备
半导体制造工艺
集成电路制造
应用场景
半导体器件制造, 晶圆加工, 芯片封装, 集成电路生产
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摘要
本实用新型涉及半导体领域,且公开了一种半导体器件加工平台,包括底板,所述底板的顶部对称且固定连接有立板,所述立板之间设置有转座,所述转座的两侧固定连接有转杆,所述立板的一侧固定连接有步进电机,所述转座的顶部与底部均转动设置有放置台,顶部所述放置台的顶部设置有放置座,该半导体器件加工平台,拧下螺栓,配合限位槽、L型限位条将空放置座拆下后,将待烘干半导体安装在放置座上后复位,当底部放置座烘干处理完成后,利用步进电机将顶部放置座转至底部继续烘干,取下处理好的半导体进行后续的加工,继续装入新半导体,如此往复连续烘干处理,解决了现有的加工平台难以连续加工导致半导体烘干加工效率低的问题。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种机电安装管线设备
当前第 / 件
一种拼装钢结构组件
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