发明专利已授权

一种基于单个金属银纳米颗粒-金属银薄膜的Fano共振结构及其制备方法

📄 申请号：CN201910908748.4 📄 发布日：2025/11/16

著录项目信息

申请日

2019-09-25

公开号

CN110618478B

公开日

2021-12-24

申请人

武汉工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G02B5_00

IPC 分类号

G02B5_00

技术画像

所属领域

表面等离激元表面等离激元纳米光子学光学传感结构

应用场景

高灵敏度传感, 生物医学检测, 光学滤波, 表面增强光谱, 光通信

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摘要

本发明公开了一种基于单个金属银纳米颗粒‑金属银薄膜的Fano共振结构及其制备方法，该共振结构包括从上而下依次设置的金属纳米颗粒、透明介质膜和金属薄膜。该共振结构的制备方法包括下述步骤：(1)在绝缘衬底上用电子束蒸发的方法镀一层金属薄膜；(2)用原子层沉积方法在金属薄膜上沉积一层透明介质膜；(3)将金属纳米颗粒用滴涂的方法分散在透明介质膜上。本发明的共振结构可以通过调整金属纳米颗粒的尺寸大小来实现并调控Fano共振，当金属纳米颗粒周围介质环境发生变化时，Fano共振的共振峰位会发生变化，这种共振结构的能量局域性会提高它对环境变化的灵敏度，并且制备方法简单易操作，重复性好，便于应用。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20211224

✅ 授权

20200121

?? 实质审查的生效：

20191227

📄 公开

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