发明专利已授权

一种自支撑金刚石膜/Cu复合热沉材料及其制备方法

📄 申请号：CN202110380978.5 📄 发布日：2025/11/16

著录项目信息

申请日

2021-04-09

公开号

CN113084176B

公开日

2023-08-18

申请人

武汉工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B22F7_04

IPC 分类号

B22F7_04 , C22C21_12 , C22C9_00 ,

技术画像

所属领域

金刚石膜金刚石膜铜基复合材料热管理材料

应用场景

电子器件散热, 功率半导体散热, 集成电路封装, 激光器热管理, 5G通信设备散热

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摘要

本发明公开了一种自支撑金刚石膜/Cu复合热沉材料及其制备方法。一种自支撑金刚石膜/Cu复合热沉材料，其包括自支撑金刚石膜、Cu基体和位于自支撑金刚石膜和Cu基体之间的复合层；该复合层具有三层结构，该复合层包括与自支撑金刚石膜相邻的Ag‑Cu‑Ti箔层、中间W箔层和与Cu基体相邻的Cu‑TiH2层。本发明的一种自支撑金刚石膜/Cu复合热沉材料采用“三明治”式三层复合结构作为自支撑金刚石膜和Cu基体之间的复合层，该复合层均匀致密，采用该复合层结合后得到的自支撑金刚石膜/Cu复合热沉材料界面结合良好，无裂纹等缺陷，且制得的金刚石膜/Cu复合热沉材料的界面结合强度较高。本发明的一种自支撑金刚石膜/Cu复合热沉材料的制备方法简单，易于操作，制备过程成本较低。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种高效的光热转换材料、光热转换膜、制备方法及应用

当前第 / 件

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