发明专利 已授权

基于附加相位片的微尺度透明体离焦距离测量装置及方法

📄 申请号:CN201810985745.6 📄 发布日:2026/08/31

著录项目信息

申请日
2018-08-28
公开号
CN109307472A
公开日
2019-02-05
申请人
江苏大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

半导体检测, 生物医学显微成像, 工业精密测量, 光学显微镜自动对焦, 微机电系统检测

摘要

本发明公开了基于附加相位片的微尺度透明体离焦距离测量装置及方法,涉及微尺度透明体测试技术领域。提供一种通过附加相位片的设置以获取四种不同离焦程度下的相位体图像并根据这些图像计算SPEC参数以确定相位体相对于成像系统物镜在光轴方向上的位置的方法,实现透明相位体三维空间位置的实时测量。本发明通过在光路中增加可旋转相位片,无需采用光路的机械运动来实现光路的调节,提升系统的稳定性。采用直接计算方式,不需要迭代优化过程,计算过程简单。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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