实用新型 已授权

一种用于单晶炉坩埚轴处波纹管清理辅助装置

📄 申请号:CN202420958804.1 📄 发布日:2025/10/24

著录项目信息

申请日
2024-05-07
公开号
CN222268164U
公开日
2024-12-31
申请人
斯迈锐真空技术(江苏)有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

单晶硅制备, 半导体材料生产, 光伏硅片制造, 晶体生长炉维护, 真空设备清理

摘要

本实用新型提供一种用于单晶炉坩埚轴处波纹管清理辅助装置。所述用于单晶炉坩埚轴处波纹管清理辅助装置包括:坩埚轴,所述坩埚轴外表面设置有波纹管,所述波纹管顶部与底部均开设有卡槽,所述卡槽内部插接有上部卡块,所述右侧板与左侧板底部固定连接有上升杆,所述上升杆表面开设有正向螺纹槽,所述上升杆表面螺纹连接有调节套,所述调节套内表面螺纹连接有下移杆,所述下移杆表面开设有反向螺纹槽,所述下移杆底部固定连接有下部卡块,所述下部卡块顶部固定连接有下部卡柱,所述固定块与活动块内侧均设置有夹持缓冲垫。本实用新型提供的用于单晶炉坩埚轴处波纹管清理辅助装置具有提高清理效率与操作简单容易上手的效果。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN222268164U

购买这项专利需要经过哪些流程?

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该专利的转让价格是多少?

当前标价为 2300.0 元,不含过户费。支持议价,可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20241231
✅ 授权

同领域国内专利 · IPC: (B08B13_00)

B08B13_00 覆盖1个领域
¥2300.0 元
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:166 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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