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| 专利/申请号: | CN202420958804.1 | 专利名称: | 一种用于单晶炉坩埚轴处波纹管清理辅助装置 |
| 申请日: | 2024-05-07 | 申请/专利权人 | 斯迈锐真空技术(江苏)有限公司 |
| 专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省盐城市盐南高新区科城街道新跃路26号大数据产业园南区3号楼5层 |
| 专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | B08B13/00 分类检索 |
| 公开/公告日: | 2024-12-31 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号: | CN222268164U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量: | 6 | 所属领域: | 单晶硅制备设备 半导体制造技术专利转让搜索 |
应用场景:单晶炉内波纹管清洁维护;半导体生产流程优化;高温真空环境下的部件清理
摘 要:本实用新型提供一种用于单晶炉坩埚轴处波纹管清理辅助装置。所述用于单晶炉坩埚轴处波纹管清理辅助装置包括:坩埚轴,所述坩埚轴外表面设置有波纹管,所述波纹管顶部与底部均开设有卡槽,所述卡槽内部插接有上部卡块,所述右侧板与左侧板底部固定连接有上升杆,所述上升杆表面开设有正向螺纹槽,所述上升杆表面螺纹连接有调节套,所述调节套内表面螺纹连接有下移杆,所述下移杆表面开设有反向螺纹槽,所述下移杆底部固定连接有下部卡块,所述下部卡块顶部固定连接有下部卡柱,所述固定块与活动块内侧均设置有夹持缓冲垫。本实用新型提供的用于单晶炉坩埚轴处波纹管清理辅助装置具有提高清理效率与操作简单容易上手的效果。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
| 专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
| 解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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