实用新型已授权

一种可翻转的硅片用抛光装置

Name: 一种可翻转的硅片用抛光装置
Brand: 常州宸展光电科技有限公司
SKU: 202222031073X
Availability: InStock

📄 申请号：CN202222031073.X 📄 发布日：2026/04/17

著录项目信息

申请日

2022-08-03

公开号

CN218254473U

公开日

2023-01-10

申请人

常州宸展光电科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B24B29_02

IPC 分类号

B24B29_02 , B24B41_04 , B24B41_06 , B24B55_06 , B24B55_12 , B24B47_22 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备硅片加工抛光装置

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 集成电路制造, 硅片表面处理

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摘要

本实用新型公开了一种可翻转的硅片用抛光装置，包括底座，所述底座的上方两端均固定连接有固定板，且底座的后侧上方固定连接有支撑板；固定环，设置在所述支撑板的底部中心处，所述固定环为伸缩结构，所述固定环的底部设置有有抛光轮；所述固定板的外侧壁安装有驱动电机，且固定板的内侧壁轴承连接有电动推杆，所述驱动电机输出端的驱动轴与电动推杆固定连接；加工台，设置在所述底座的顶部中心处，且加工台的两侧壁均安装有吸尘风扇。该可翻转的硅片用抛光装置能够在加工的过程中对抛光好的硅片进行翻面，从而进行另一面的抛光，操作简单，方便快捷，提高了抛光的效率，同时还能够对抛光产生的粉尘进行集中收集，避免粉尘四溢飞散。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN218254473U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：54 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

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