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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202222031073.X | 专利名称: | 一种可翻转的硅片用抛光装置 |
申请日: | 2022-08-03 | 申请/专利权人 | 常州宸展光电科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省常州市新北区常澄路888号317-3室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | B24B29/02 分类检索 |
公开/公告日: | 2023-01-10 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN218254473U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
浏览量: | 3 | 所属领域: | 半导体制造设备 精密机械加工专利转让搜索 |
应用场景:硅片双面抛光工艺优化;半导体晶圆制造中的表面处理环节
摘 要:本实用新型公开了一种可翻转的硅片用抛光装置,包括底座,所述底座的上方两端均固定连接有固定板,且底座的后侧上方固定连接有支撑板;固定环,设置在所述支撑板的底部中心处,所述固定环为伸缩结构,所述固定环的底部设置有有抛光轮;所述固定板的外侧壁安装有驱动电机,且固定板的内侧壁轴承连接有电动推杆,所述驱动电机输出端的驱动轴与电动推杆固定连接;加工台,设置在所述底座的顶部中心处,且加工台的两侧壁均安装有吸尘风扇。该可翻转的硅片用抛光装置能够在加工的过程中对抛光好的硅片进行翻面,从而进行另一面的抛光,操作简单,方便快捷,提高了抛光的效率,同时还能够对抛光产生的粉尘进行集中收集,避免粉尘四溢飞散。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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