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| 专利/申请号： | CN201811186719.3 | 专利名称： | 一种制备纳米多孔硅双凸透镜的方法 |
| 申请日： | 2018-10-12 | 申请/专利权人 | 湖南文理学院 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 湖南省常德市武陵区洞庭大道3150号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C25F3/30 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2020-10-27 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN109234791B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 9 | 所属领域： | 纳米材料制备技术 光学元件制造专利转让搜索 |
应用场景：集成电路制造中的光学元件生产;高精度光学传感器开发;微纳光电系统集成
摘 要：本发明公开了一种制备纳米多孔硅双凸透镜的方法，该方法是将常规双槽腐蚀制备圆柱形的体多孔硅薄膜，即使用两个圆形平板薄铂片作为电极，且在两个平行电极之间放置硅片，硅片轴线、两个圆形平板薄铂片轴线三者重合，硅片离左、右两个电极的距离相等，硅片将腐蚀液分隔成两个独立的部分；采用正、负方波恒流源对硅片前、后表面进行电化学腐蚀形成圆柱形体多孔硅薄膜；然后，将其浸入氢氧化钠溶液中，并以圆柱形的体多孔硅薄膜的中心轴为自旋转轴旋转圆柱形体多孔硅，导致体多孔硅圆柱形成由多孔硅材料构成的双凸透镜。通过本发明的方法，能获得纳米多孔硅双凸透镜，能广泛应用于微机电系统，为微机光电系统领域作出了重大的贡献。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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