发明专利已授权

一种扫描探针显微镜的无畸变扫描方法

📄 申请号：CN202210434915.8 📄 发布日：2026/08/18

著录项目信息

申请日

2022-04-24

公开号

CN114910668B

公开日

2025-03-25

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01Q10_00

IPC 分类号

G01Q10_00

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

半导体检测, 材料表面分析, 纳米表征, 科研仪器, 工业检测

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摘要

本发明提供了一种扫描探针显微镜的无畸变扫描方法，该方法依然保留传统的逐行扫描方式，通过变速扫描的方法实现漂移过程中原子行的弯曲，从而矫正扫描图像。该方法摒弃了复杂的螺旋扫描方式，控制信号更加简单，扫描方式更加多样，后期矫正也更加方便。相对于传统标定显微镜的方式，其优点为：不需要显微镜标定，不需要更换样品，只需要一次性扫描完成，后期就可以对图像去除畸变。对于不同环境，显微镜漂移速度也不同，本发明也只需要一次性扫描成像即可。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250325

✅ 授权

20220902

?? 实质审查的生效：

20220816

📄 公开

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