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专利详情
实用新型
已授权
一种高纯气体用露点变送器
📄 申请号:CN202320583500.7
📄 发布日:2025/10/29
著录项目信息
申请日
2023-03-23
公开号
CN219799304U
公开日
2023-10-03
申请人
上海信志联科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
G01N25_66
IPC 分类号
G01N25_66
技术画像
所属领域
变送器
传感器技术
气体检测
工业自动化仪表
变送器
应用场景
高纯气体制备, 半导体制造, 气体纯度监测, 工业过程控制, 电子特气生产
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摘要
本实用新型涉及气体检测技术领域,提出了一种高纯气体用露点变送器,包括检测管,检测管的顶端固定连接有进气管,检测管的外侧固定连接有露点变送器主体,且露点变送器主体的检测端延伸至检测管内部,进气管的外侧固定连接有支撑架,支撑架的两端均开设有行程通槽,行程通槽的内部滑动连接有位移架,位移架的两端均设置有止动螺丝,进气管的外侧滑动连接有推导架,且推导架靠近位移架的一侧与位移架固定连接,推导架的顶端固定连接有密封圈。通过上述技术方案,解决了现有技术中的与外部输气管道,难以在管道连接处的外侧进一步完成管道间的密封,进而可能使高纯气体外泄,出现检测误差的问题。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种箱式电阻炉
当前第 / 件
一种直线往复式切药机
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