实用新型已授权

一种有机清洗机的去胶剂工艺槽

Name: 一种有机清洗机的去胶剂工艺槽
Brand: 华林科纳(江苏)半导体设备有限公司
SKU: 2022224258585
Availability: InStock

📄 申请号：CN202222425858.5 📄 发布日：2026/07/14

著录项目信息

申请日

2022-09-14

公开号

CN218424286U

公开日

2023-02-03

申请人

华林科纳(江苏)半导体设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B1_00

IPC 分类号

B08B1_00 , B08B13_00 , H01L21_67 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备湿法清洗设备去胶工艺

应用场景

半导体制造, 晶圆清洗, 光刻胶去除, 集成电路制造

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摘要

本实用新型涉及去胶剂工艺槽技术领域，且公开了一种有机清洗机的去胶剂工艺槽，包括槽体，所述槽体的正下方设置有隔离箱，所述隔离箱的内部设置有电动推杆，所述电动推杆的推杆穿过隔离箱的顶部并与体的左下端相连接，所述隔离箱的底部连接有安装块，所述槽体的上端两侧连接有支撑架，所述支撑架的中间处开设有导向开口，所述槽体的中间处开设有凹槽，所述槽体的中间处并位于凹槽的前后两侧均设置有挡板。本实用新型通过设置电动推杆、隔离箱、安装块、支撑架、导向开口、滑块、挡板和刮板，利用它们之间的相互配合作用，从而可以实现对槽体的使用位置进行调节，扩大了使用范围，另外可以对胶剂进行平顺去除，使得去除效果好。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN218424286U

购买这项专利需要经过哪些流程？

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该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230203

✅ 授权

一种拖拉机油箱用辅助组件

当前第 / 件

一种破碎锤热处理连续炉

同领域国内专利 · IPC: (B08B1_00)

B08B1_00 B08B1_02 B08B1_04 B08B1_10 B08B1_12 B08B1_14 B08B1_16 B08B1_20 B08B1_30 B08B1_32 B08B1_34 B08B1_36 B08B1_40 B08B1_50 B08B11_00 B08B11_02 B08B11_04 B08B13_00 B08B15_00 B08B15_02 B08B15_04 B08B17_00 B08B17_02 B08B17_04 覆盖24个领域

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