摘要
本发明涉及一种评估聚合物基自修复膜自修复极限的方法,将聚合物基自修复膜循环进行刻蚀—自修复—测量过程,直至测量结果超出规定;记录循环次数N,即记为该聚合物基自修复膜自修复极限;所述测量结果超出规定是指自修复后聚合物基自修复膜的上表面粗糙度值D大于阈值K或者裂纹形貌目视有明显裂纹:所述裂纹结构由多个相同的且具有一定间距的裂纹构成,每个裂纹的尺寸用直径和深度或者宽度和深度表示;所述的特定裂纹结构是指每个裂纹的直径、宽度或者深度大于等于100nm。本发明的方法,能够精确地制备出可控尺寸的裂纹,从而保证方法的标准性;能在同一样品、同一区域进行多次重复形貌裂痕的损伤/愈合用以评估其自修复极限。