发明专利 已授权

一种具有通断功能的真空检测装置及其通断方法

📄 申请号:CN201811272736.9 📄 发布日:2026/07/10

著录项目信息

申请日
2018-10-30
公开号
CN109269714B
公开日
2021-04-06
申请人
蔡一伟
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

真空镀膜, 半导体制造, 工业自动化, 科研实验设备, 真空热处理

摘要

本发明公开一种具有通断功能的真空检测装置及其通断方法,包括:壳体、滑动壳、挡块、活塞杆、检测仪、连杆、进气孔三,滑动壳可滑动的容于壳体内,滑动壳的两外侧壁与壳体的两内侧壁紧密贴合,滑动壳的上下两端分别对称设有一开口,挡块数量设为两个并能够在滑动壳内做水平相向或相反滑动,挡块的内侧面与滑动壳的内壁围成一检测通道,检测通道与开口相连通,活塞杆内部中空,活塞杆一端竖直贯穿壳体上端并与滑动壳上端相固连,且活塞杆内腔与开口相连通,检测仪检测端通过软管与活塞杆位于壳体外的一端相连通,连杆一端铰接于壳体的内侧壁上,另一端铰接于挡块外侧壁上,进气孔三设于壳体的下端,并与壳体内部相连通。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20210406
✅ 授权
20190226
?? 实质审查的生效 :
20190125
📄 公开

同领域国内专利 · IPC: (G01L21_00)

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议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:49 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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