实用新型已授权

一种厂务冷却系统及厂务系统(芯片制造)

📄 申请号：CN202120445447.5 📄 发布日：2025/11/11

著录项目信息

申请日

2021-03-01

公开号

CN215113476U

公开日

2021-12-10

申请人

泉芯集成电路制造(济南)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F25D29_00

IPC 分类号

F25D29_00 , F25D31_00 , F25D17_02 ,

技术画像

所属领域

厂务冷却系统厂务冷却系统半导体芯片制造工业冷却系统

应用场景

芯片制造, 半导体工厂厂务系统, 洁净室环境控制, 工业冷却水系统

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摘要

本实用新型公开了一种厂务冷却系统及厂务系统。厂务冷却系统包括：供水装置、至少一个冰水机和监控装置；供水装置包括至少一个输出端，供水装置的输出端与冰水机的输入端通过第一管路连接，冰水机的输出端用于通过第二管路输出水到机台设备；监控装置的检测信号输入端与冰水机的检测信号输出端连接，监控装置用于采集冰水机的参数，并当参数超过预设范围时发出报警信号，其中，参数包括冰水机输出水的温度和/或流量。本实用新型解决了进行水的温度和流量的调节不精确的问题，达到了准确控制水的温度和流量，降低成本，并且可以为不同的机台设备提供不同温度的冷却水的效果。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

换向阀操作杆锁紧器

当前第 / 件

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