厂务冷却系统 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

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全部发明实用新型外观设计

法律状态：全部已授权审中

项目申报：全部报过没有报过

实用新型已授权

本实用新型公开了一种厂务冷却系统及厂务系统。厂务冷却系统包括：供水装置、至少一个冰水机和监控装置；供水装置包括至少一个输出端，供水装置的输出端与冰水机的输入端通过第一管路连接，冰水机的输出端用于通过第二管路输出水到机台设备；监控装置的检测信号输入端与冰水机的检测信号输出端连接，监控装置用于采集冰水机的参数，并当参数超过预设范围时发出报警信号，其中，参数包括冰水机输出水的温度和/或流量。本实用新型解决了进行水的温度和流量的调节不精确的问题，达到了准确控制水的温度和流量，降低成本，并且可以为不同的机台设备提供不同温度的冷却水的效果。

📄 2021204454475 📂 F25D29_00 👤 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 📅 2021-03-01

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实用新型已授权

一种厂务冷却系统及厂务系统(芯片制造)

2021204454475 · 泉芯集成电路制造(济南)有限公司

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