实用新型已授权

一种芯片探针卡对位调整装置

📄 申请号：CN202421269586.7 📄 发布日：2026/04/10

著录项目信息

申请日

2024-06-05

公开号

CN223155047U

公开日

2025-07-25

申请人

吉安智企企业服务有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G01R1_04

IPC 分类号

G01R1_04 , G01R1_067 ,

技术画像

所属领域

半导体测试半导体测试探针卡精密对位装置

应用场景

芯片测试, 晶圆测试, 半导体制造, 集成电路检测

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摘要

本实用新型公开了一种芯片探针卡对位调整装置，涉及对位调整装置技术领域，包括探针机构、底座机构和固定机构等部件，所述探针机构包括安装座，所述安装座的内部开设有空腔，所述安装座的侧面且处于空腔下方开设有卡槽，所述卡槽内部设置有卡件，本装置的探针机构利用卡合原理将探针卡固定在装置上，拆解时只需上拉螺杆让插件移出插槽即可解除对探针卡的固定，之后即可将其取下，从而将探针卡拆解只需上拉拉杆一个操作，操作简单，方便对探针卡进行更换，本装置还利用固定机构对芯片进行固定，同时利用探针卡移动过程中通过组件带动固定机构内的两个夹板对芯片进行夹持，增加装置之间的联动性，让装置更加实用。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250725

✅ 授权

一种智能建筑全生命周期管理方法及系统

当前第 / 件

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