发明专利审查中

一种碳化硅生产工艺

📄 申请号：CN202411957172.8 📄 发布日：2026/02/11

著录项目信息

申请日

2024-12-29

公开号

CN119370847A

公开日

2025-01-28

申请人

内蒙古申弘新材料科技有限公司

法律状态

授权未缴费

专利类型

发明

主分类号

C01B32_984

IPC 分类号

C01B32_984 , C01B33_037 ,

技术画像

所属领域

生产工艺碳化硅材料无机非金属材料半导体材料生产工艺

应用场景

磨料磨具, 耐火材料, 半导体器件, 结构陶瓷, 复合材料

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摘要

本发明公开了一种新的碳化硅生产工艺，包括以下步骤：S1：将碳源和氯化钠放置于合成反应容器底部，再次除去部分杂质；S2：将预处理后的硅源，放置于提纯容器底部，并分步骤逐渐升温至2250℃，除去低沸点杂质；S3：在步骤S2的提纯容器底部通入惰性气体，进一步除去低沸点杂质，之后进入合成反应器，进入合成反应器的气相硅将合成反应器中碳源温度逐渐加热，反应时间10~20h，得到碳化硅粗品；S4：将步骤S3得到的碳化硅粗品提纯后，纯度＞99.999%。本发明的制备方法简单，成本低廉，减少CO2排放量，可生产出更高纯度的碳化硅，制备的碳化硅纯度大于99.993%，用于电子产品和芯片等领域。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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¥23500.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：127 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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