实用新型已授权

一种稳定传输的半导体清洗装置用滚轮轴

📄 申请号：CN202122207087.8 📄 发布日：2025/08/25

著录项目信息

申请日

2021-09-13

公开号

CN216004186U

公开日

2022-03-11

申请人

南通天美机械有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B65G39_02

IPC 分类号

B65G39_02 , H01L21_677 ,

技术画像

所属领域

清洗装置半导体清洗设备机械传动部件滚轮轴结构清洗装置

应用场景

半导体制造, 晶圆清洗, 半导体设备传输, 洁净室自动化, 晶圆加工生产线

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摘要

本实用新型涉及一种稳定传输的半导体清洗装置用滚轮轴，包括两个轴杆、滚轮组件和调节组件，所述滚轮组件位于轴杆外表面的左右两侧；所述滚轮组件包括两个活动轮，两个所述活动轮分别设置于两个轴杆外表面相背的一侧，所述活动轮的内部开设有固定槽，所述轴杆的外表面且位于固定槽的内部开设有第一弧形槽。该稳定传输的半导体清洗装置用滚轮轴，通过设置滚轮组件，钢珠使得活动轮的转动更加平滑且稳定，在传输过程中不会发生晃动，环形限位槽和环形限位块能够有效避免活动轮发生偏移，能够实现稳定的传输，通过设置调节组件，能够根据使用需要自由的调节两个轴杆之间的距离，能够实现长度的调节，以此适用于各种不同的使用情况。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于光催化技术的室内气体净化装置

当前第 / 件

一种耐久增强型PEEK方孔轴心主传动齿轮

同领域国内专利 · IPC: (B65G39_02)

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