实用新型 已授权

一种集成电路清洗设备用高强度防裂纹轴套

📄 申请号:CN202122191134.4 📄 发布日:2025/08/25

著录项目信息

申请日
2021-09-10
公开号
CN215890824U
公开日
2022-02-22
申请人
南通天美机械有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

集成电路清洗, 半导体晶圆制造, 清洗设备传动系统, 工业设备耐磨部件

摘要

本实用新型涉及一种集成电路清洗设备用高强度防裂纹轴套,包括内套和套设在内套外部的外套,所述外套的内部开设有油孔,所述内套的内壁上开设有与油孔连通的油槽,所述内套的内壁上还设置有垫圈。该集成电路清洗设备用高强度防裂纹轴套,通过设置高强度的复合结构内套连接轴承座承载作用力,从而避免外部的外套承受较大作用力,同时通过设置垫圈对扭力进行吸收,以及螺纹状排布的螺纹槽将润滑油均匀分布,实现了对作用力的减缓,避免了过大的作用力使得轴套产生裂纹,解决了现有技术中应用于电路清洗设备的轴套,承载能力差,强度低,容易与轴承座之间产生较大摩擦,而使得其外部出现裂纹的问题。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (F16C35_02)

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:129 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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