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实用新型
已授权
一种集成电路清洗设备用高强度防裂纹轴套
📄 申请号:CN202122191134.4
📄 发布日:2025/08/25
著录项目信息
申请日
2021-09-10
公开号
CN215890824U
公开日
2022-02-22
申请人
南通天美机械有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
F16C35_02
IPC 分类号
F16C35_02
,
F16N1_00
,
技术画像
所属领域
半导体设备零部件
半导体设备零部件
机械传动部件
高强度耐磨材料
应用场景
集成电路清洗, 半导体晶圆制造, 清洗设备传动系统, 工业设备耐磨部件
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摘要
本实用新型涉及一种集成电路清洗设备用高强度防裂纹轴套,包括内套和套设在内套外部的外套,所述外套的内部开设有油孔,所述内套的内壁上开设有与油孔连通的油槽,所述内套的内壁上还设置有垫圈。该集成电路清洗设备用高强度防裂纹轴套,通过设置高强度的复合结构内套连接轴承座承载作用力,从而避免外部的外套承受较大作用力,同时通过设置垫圈对扭力进行吸收,以及螺纹状排布的螺纹槽将润滑油均匀分布,实现了对作用力的减缓,避免了过大的作用力使得轴套产生裂纹,解决了现有技术中应用于电路清洗设备的轴套,承载能力差,强度低,容易与轴承座之间产生较大摩擦,而使得其外部出现裂纹的问题。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种缓冲吸振无噪声的PCB清洗装置用皮带轮
当前第 / 件
一种防磨损易润滑的电路板清洗装置用输送正齿轮
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📌 交易状态:
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