发明专利已授权

一种基于光谱干涉装置的测量系统

📄 申请号：CN201710259114.1 📄 发布日：2026/08/19

著录项目信息

申请日

2017-04-19

公开号

CN107121077A

公开日

2017-09-01

申请人

张家港市欧微自动化研发有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_06

IPC 分类号

G01B11_06 , G01B9_02 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

工业检测, 精密计量, 半导体制造, 光学元件检测, 科研实验

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摘要

本发明涉及一种基于光谱干涉装置的测量系统，主要解决现有技术中存在的测量精度不足的技术问题，本发明通过采用所述测量系统包括光源，与光源依次连接的扩束准直透镜、起偏器、检偏器、自聚焦透镜、光谱仪及数据处理单元；待测双折射晶体连接于所述起偏器与检偏器之间；所述起偏器用于将经扩束准直透镜输出的平行光起偏为线偏振光；所述起偏器(的偏振轴与待测双折射晶体的任意偏振轴有夹角θ；检偏器与待测双折射晶体的任意偏振轴夹角为45度的技术方案，较好的解决了该问题，可用于双折射晶体厚度测量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20190927

✅ 授权

20190906

⏳ 专利申请权的转移：

20170926

?? 实质审查的生效：

20170901

📄 公开

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议价

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：7 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

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