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发明专利
已授权
一种可旋转的超临界电沉积装置
📄 申请号:CN201810402016.3
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2018-04-28
公开号
CN108707956A
公开日
2018-10-26
申请人
江苏理工学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
C25D17_02
IPC 分类号
C25D17_02
,
C25D17_04
,
C25D17_06
,
C25D17_12
,
C25D21_10
,
C25D5_00
,
技术画像
所属领域
超临界流体技术
超临界流体技术
电沉积
表面处理
应用场景
材料表面处理, 功能涂层制备, 薄膜制备, 纳米材料合成, 电镀工业
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摘要
本发明属于电化学加工技术领域,尤其涉及一种可旋转的超临界电沉积装置,包括反应釜组件和基座组件,反应釜组件包括具有内腔的反应釜本体、活塞和第一驱动系统,活塞设置在内腔中,且其与内腔之间形成沉积腔,第一驱动系统用于驱动活塞运动控制沉积腔的大小,基座组件包括底座、转动设置在底座上的旋转盘和用于驱动旋转盘转动的第二驱动系统,旋转盘上设置有釜壁夹具,釜壁夹具用于夹持反应釜本体。有益效果:本发明的旋转盘带动反应釜组件转动,保证电沉积过程中沉积腔内镀液的均匀流动,有利于阴极附近的离子得到迅速补充,减轻浓差极化现象带来的影响,提高沉积层的致密性和平整性,为提升沉积层的表面质量和力学性能提供了一种新方法。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20190827
✅ 授权
20181120
?? 实质审查的生效 :
基于移动阳极的超临界复合电镀加工钻头方法
当前第 / 件
一种超声辅助超临界电沉积装置
同领域国内专利 · IPC: (C25D17_02)
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C25D17_22
覆盖
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