发明专利 已授权

一种可旋转的超临界电沉积装置

📄 申请号:CN201810402016.3 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2018-04-28
公开号
CN108707956A
公开日
2018-10-26
申请人
江苏理工学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

应用场景

材料表面处理, 功能涂层制备, 薄膜制备, 纳米材料合成, 电镀工业

摘要

本发明属于电化学加工技术领域,尤其涉及一种可旋转的超临界电沉积装置,包括反应釜组件和基座组件,反应釜组件包括具有内腔的反应釜本体、活塞和第一驱动系统,活塞设置在内腔中,且其与内腔之间形成沉积腔,第一驱动系统用于驱动活塞运动控制沉积腔的大小,基座组件包括底座、转动设置在底座上的旋转盘和用于驱动旋转盘转动的第二驱动系统,旋转盘上设置有釜壁夹具,釜壁夹具用于夹持反应釜本体。有益效果:本发明的旋转盘带动反应釜组件转动,保证电沉积过程中沉积腔内镀液的均匀流动,有利于阴极附近的离子得到迅速补充,减轻浓差极化现象带来的影响,提高沉积层的致密性和平整性,为提升沉积层的表面质量和力学性能提供了一种新方法。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20190827
✅ 授权
20181120
?? 实质审查的生效 :

同领域国内专利 · IPC: (C25D17_02)

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:9 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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