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24小时咨询热线著 录 项 目：
| 专利/申请号： | CN202320310324.X | 专利名称： | 一种蚀刻设备的精度校准装置 |
| 申请日： | 2023-02-22 | 申请/专利权人 | |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | H01L21/68分类检索 其他专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要：本实用新型公开了—种蚀刻设备的精度校准装置，包括底板、限位框和料板，所述限位框一端通过安装座安装电动液压缸A且电动液压缸A的一端通过螺钉安装PLC控制器A，所述限位框的底部两端焊接有吊板，所述吊板的一侧通过安装座安装电动液压缸B且电动液压缸B的一端通过螺钉安装PLC控制器B，所述限位框内设置有料板且料板的底部两端焊接滑动块，所述滑动块的底部滑动连接滑动槽，所述滑动槽的底部通过螺钉安装支撑块且支撑块的两端设置有滑动孔。该新型蚀刻设备的精度校准装置自动将限位料槽内的半导体材料在限位框内精度校准位置，提高蚀刻设备的加工精度，适合广泛推广使用。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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