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摘 要:一种光子筛相衬物镜,包括由基底和设于所述基底上的多个透光孔所形成的光子筛透镜及设于所述光子筛透镜表面的变相板,所述变相板位于所述光子筛透镜的中部或环绕于所述光子筛透镜的边缘,且所述光子筛透镜的中心与变相板的中心在同一轴线上。此外,还提供光子筛相衬物镜的制造方法及成像方法。上述光子筛相衬物镜、制造方法及成像方法,采用光子筛透镜抑制旁瓣和高阶衍射焦点,成像分辨率和成像对比度高;光子筛透镜与变相板刻蚀在同一基底上且变相板设在光子筛透镜的表面,光子筛透镜的中心与变相板的中心在同一轴线上,能够精确对准,同时降低了曝光时间和曝光剂量,可以实现弱吸收材料内部微细结构的高成像分辨率和高成像衬度无损探测。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201010263339.2 | 专利名称: | 光子筛相衬物镜、制造方法及成像方法 |
申请日: | 2010-08-25 | 申请/专利权人 | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G02B5/18搜分类 光学仪器搜索 |
公开/公告日: | 2011-04-06 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN102004276A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |