发明专利已授权

光子筛相衬物镜、制造方法及成像方法

📄 申请号：CN201010263339.2 📄 发布日：2026/08/03

著录项目信息

申请日

2010-08-25

公开号

CN102004276A

公开日

2011-04-06

申请人

中国科学院深圳先进技术研究院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G02B5_18

IPC 分类号

G02B5_18 , G02B27_42 , G21K7_00 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

显微镜成像, X射线成像, 生物医学成像, 材料检测, 半导体检测

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摘要

一种光子筛相衬物镜，包括由基底和设于所述基底上的多个透光孔所形成的光子筛透镜及设于所述光子筛透镜表面的变相板，所述变相板位于所述光子筛透镜的中部或环绕于所述光子筛透镜的边缘，且所述光子筛透镜的中心与变相板的中心在同一轴线上。此外，还提供光子筛相衬物镜的制造方法及成像方法。上述光子筛相衬物镜、制造方法及成像方法，采用光子筛透镜抑制旁瓣和高阶衍射焦点，成像分辨率和成像对比度高；光子筛透镜与变相板刻蚀在同一基底上且变相板设在光子筛透镜的表面，光子筛透镜的中心与变相板的中心在同一轴线上，能够精确对准，同时降低了曝光时间和曝光剂量，可以实现弱吸收材料内部微细结构的高成像分辨率和高成像衬度无损探测。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210223

⏳ 专利权人的姓名或者名称、地址的变更：

20201120

?? 专利权的转移：

20201113

?? 专利权的转移：

20120606

✅ 授权：

20110525

?? 实质审查的生效：

20110406

⏳ 公布：

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