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摘 要:本发明揭示了一种MOCVD尾管免拆清理装置,包括前端清理组件及尾端连接组件两部分,前端清洁组件包括一根前端线缆,前端线缆的一侧端部固定设置有清扫器件、前端线缆的另一端与尾端线缆的端部相连接,前端清洁组件还包括固定设置于前端线缆外周侧、用于使装置整体在MOCVD尾管内部沿管路延伸方向活动的移动器件。本发明采用物理毛刷电动旋转清扫的方式完成了对长尾管型MOCVD尾管的清洁维护,装置整体可以直接伸入MOCVD尾管中,在进行周期性维护时无需再对管道进行频繁拆卸,避免了因管道内部高活性颗粒物接触空气而引发的爆燃事故,提高了维护的安全性。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010190858.4 | 专利名称: | MOCVD尾管免拆清理装置 |
申请日: | 2020-03-18 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 授权未缴费 查询审查信息 | 分类号: | B08B9/045搜分类 半导体材料搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |