咨询电话:13280638997
传真:0533-3110363
邮箱:kefu@shizifang.com
摘 要:本发明涉及镀膜技术领域,具体为一种溅镀镀膜设备,包括箱体、固定连接在箱体一侧壁的固定杆、靶材支架、靶材、基片支架和基片,靶材固定安装在靶材支架的一侧,基片支架设于远离靶材一端的箱体内,基片固定安装在基片支架的一侧,所述箱体的侧壁上开设有两个对称设置的滑槽,所述基片支架的两端均固定安装有滚轮,且滚轮在滑槽的内部滑动。本发明通过设置第一活塞、第一伸缩杆等机构,镀膜开始前基片支架处于滑槽中部的平衡位置,通过观察指针所指刻度,并且根据镀膜材料的特性向第一活塞与箱体之间的空间充入或者释放氩气用来调节第一活塞的位置,实现对基片位置的调节,达到对基片镀膜时的均匀性。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202111526366.9 | 专利名称: | 一种溅镀镀膜设备 |
申请日: | 2021-12-14 | 申请/专利权人 | 汪子健 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省南京市浦口区青山小区3栋202室 |
专利状态: | 授权未缴费 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/35搜分类 镀膜 溅镀 镀膜设备搜索 |
公开/公告日: | 2022-04-15 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN114351101A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |