实用新型已授权

一种芯片车间层流洁净室

📄 申请号：CN202421398285.4 📄 发布日：2025/09/19

著录项目信息

申请日

2024-06-19

申请人

合肥顺芯科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F24F3_167

IPC 分类号

技术画像

所属领域

洁净室技术洁净室技术层流送风系统空气净化技术

应用场景

芯片制造, 半导体生产, 洁净车间, 微电子制造

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摘要

本实用新型公开了一种芯片车间层流洁净室，涉及洁净室技术领域；本实用新型主要包括洁净室本体、静压差平衡机构和扰流机构，洁净室本体上构造有进风口、出风口与回风口，进风口与回风口的内部均设置有抽风扇，静压差平衡机构的数量为两个且分别设置在进风口与回风口的内部，扰流机构设置在洁净室本体的内部，洁净室本体的内部设置有若干个气压传感器。本实用新型通过静压差平衡机构的设置，实现了对洁净室进风口和回风口静压差的精确调节，确保了洁净室内环境的稳定性和可靠性，从而提高了芯片生产的质量和效率，扰流机构的加入改善了洁净室内的气流模式，减少了局部涡流和死区，使得空气流动更加均匀。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种便于清理的市政街道垃圾桶

当前第 / 件

一种灯具生产用干燥装置

同领域国内专利 · IPC: (F24F3_167)

F24F3_00 F24F3_044 F24F3_06 F24F3_14 F24F3_153 F24F3_16 F24F3_163 F24F3_167 覆盖8个领域

¥2000.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：202 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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📊 出价记录 (3条)

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