洁净室技术 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

实用新型已授权

本实用新型公开了一种芯片车间层流洁净室，涉及洁净室技术领域；本实用新型主要包括洁净室本体、静压差平衡机构和扰流机构，洁净室本体上构造有进风口、出风口与回风口，进风口与回风口的内部均设置有抽风扇，静压差平衡机构的数量为两个且分别设置在进风口与回风口的内部，扰流机构设置在洁净室本体的内部，洁净室本体的内部设置有若干个气压传感器。本实用新型通过静压差平衡机构的设置，实现了对洁净室进风口和回风口静压差的精确调节，确保了洁净室内环境的稳定性和可靠性，从而提高了芯片生产的质量和效率，扰流机构的加入改善了洁净室内的气流模式，减少了局部涡流和死区，使得空气流动更加均匀。

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一种芯片车间层流洁净室